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所谓半导体电子洁净车间,指的是洁净度在10万级标准以上的车间,主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。在绝大多数情况下,无尘车间运行中风速越低,过滤器的使用效果越好。小粒径粉尘的扩散作用(布朗运动)明显,风速低了,气流在过滤材料中滞留的时间就长一些,粉尘就有更多的机会撞击障碍物,因此过滤效率就高。经验表明,对于过滤器,风速减少一半,粉尘的透过率会降低近一个数量级(效率数值增加一个9),风速增加一倍,透过率会增加一个数量级(效率降低一个9)。洁净车间几个重要指标参数介绍。

深圳无尘车间工业生产洁净室与微生物洁净室差别有什么?中山百级无尘车间设计
1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的要求为亚微米。10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。


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